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無塵室潔凈度檢測標準參考

admin 2021-10-19 02:49:03 閱讀

無塵室潔凈度檢測標準參考無塵室潔凈度檢測標準參考
1 目的

   規定無塵室潔凈區的控制指標和檢測方法,有效的控制十萬級和三十萬級潔凈區環境的潔凈度,滿足生產環境的要求。


2 范圍

   本規程適用本公司十萬級和三十萬級潔凈區環境的潔凈度檢驗。

3 檢驗方法

3.1 檢驗項目

   溫度、濕度、壓差、風速(換氣次數)、塵埃粒子數、菌落數


3.2 溫度、濕度

3.2.1 要求

   十萬級/三十萬級潔凈區溫度(18-26)℃,相對濕度(45-65)%

3.2.2 儀器與設備

   溫濕度計

3.2.3 操作方法

   目測溫濕度計。

3.2.4 測定頻次 

1次/班。


3.3 靜壓差

3.3.1 要求

潔凈室與室外壓差≥10Pa,潔凈室與非≥5Pa不同級別潔凈室之間≥5Pa。

3.3.2 儀器與設備:補償式微壓計

3.3.3 操作方法

   用補償式微壓計測試各室的靜壓力,由兩室靜壓力之差,為靜壓差。

3.3.4 測定頻次:1次/月


3.4 換氣次數

3.4.1 要求

   十萬級潔凈區換氣次數>15次

三十萬級潔凈區換氣次數>12次

3.4.2 儀器與設備:熱球式電風速計。

3.4.3 操作方法距風口下25cm處測量

3.4.3.1 用風速計風速,采樣點為風口的四個頂角及中心位置(不少于5點)。計算5個點風速平均值。為一個風口的風速。

3.4.3.2 換算公式:

                  ∑(高效風口風速×高效風口面積)

    換氣次數= ──────────────────

                              被測間體積

3.4.4 測定頻次:1次/月


3.5 塵埃粒子數

3.5.1 要求

十萬級潔凈區塵埃粒子數: ≥0.5μm:≤3500個/L

                         ≥5.0μm:≤20個/L

三十萬級潔凈區塵埃粒子數:≥0.5μm:≤10500個/L

≥5.0μm:≤60個/L

3.5.2 儀器與設備:塵埃粒子計數儀

3.5.3 采樣點

根據潔凈室面積,要求最少采樣點見下表:

面積,(m2)

潔凈度級別

10000

100000

300000

≤10

≥10~<20

≥20~<40

≥40~<100

≥100~<200

≥200~<400

≥400~<1000

≥1000~<2000

≥2000

2

2

2

4

10

20

40

100

200

2

2

2

2

3

6

13

32

63


3.5.4 操作方法

用塵埃粒子計數儀在高度1米水平面上的位置采樣,每層采樣點不少于5點,每個采樣點采樣次數不少于5次。采樣點見附件1。  


3.5.5 換算公式


             5次測量數的總和

塵埃粒子數= ─────────

                   5

3.5.6 測定頻次 :1次/季


3.6 菌落數

3.6.1 要求

  浮游菌 十萬級潔凈區含菌濃度≤500個/m3

  沉降菌 十萬級潔凈區含菌濃度≤10個/皿

          三十萬級潔凈區含菌濃度≤15個/皿


3.6.2 檢測方法

按《微生物檢驗規范》的規定進行。

3.6.5 測定頻次:浮游菌 1次/季;沉降菌 1次/周


4 測定條件

4.1 當新潔凈區投入使用前,進行一次靜態環境監測,監測時,潔凈區內所有物品均應到位,檢測區內只留檢測人員,檢測結果應符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格應重新對凈化系統進行檢查,查找原因,進行整改后,再進行檢測,合格后方可投入使用,否則不得進入生產。

4.2 所有在用潔凈區,按本規程的要求進行動態檢測,檢測結果應符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格由技術品質部告知生產部,通知超標車間停產,由生產部、技術品質部、生產車間組織人員查找原因,進行整改后,再進行檢測,合格后方可投入使用。


附件1 塵埃粒子檢測點

附件2 沉降菌檢測點

附件3 浮游菌檢測點


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